光刻材料中陰離子的測定
光刻工藝是半導體制造中最為重要的工藝步驟之一。主要作用是將掩膜板上的圖形復制到硅片上，為下一步進行刻蝕或者離子注入工序做好準備。光刻的成本約為整個硅片制造工藝的 1/3，耗費時間約占整個硅片工藝的 40～60%。一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、檢測等工序。光刻膠是一種經過嚴格設計的復雜、精密的配方產品，由樹脂、光引發劑、單體、添加劑等不同性質的原料，通過不同的排列組合，經過復雜、精密的加工工藝而制成。目前集成電路的集成水平已由原來的微米級水平進入納米級水平，為了匹配集成電路的發展水平，制備超凈高純試劑的純度也由 SEMI G1 逐漸提升到 SEMI G4 級水平，對雜質的檢驗能力要求也相應提高。
（1）陰離子
分析柱：SH-G-1+SH-AC-11
流動相：15 mM KOH（EG）
流速：1.0 mL/min
柱溫：35℃
抑制器：SHY-A-6
進樣體積：100 μL
前處理：稱取 2 g 樣品于 50 mL 樣品管中，加入 10 mL 去離子水，于 60℃水浴 1 h，取出冷卻至室溫，提取液過 0.22 μm 一次性針頭過濾器后進樣分析。
色譜測量數據
PC 中陰離子譜圖
色譜測量數據
PP 中陰離子譜圖
色譜測量數據
ABS 中陰離子譜圖
（2）陽離子
分析柱：SH-G-1+SH-CC-3L
流動相：6 mM MSA（EG）
流速：1.0 mL/min
柱溫：35℃
抑制器：SHY-A-6
進樣體積：100 μL
前處理：稱取 2 g 樣品于 50 mL 樣品管中，加入 10 mL 去離子水，于 60℃水浴 1 h，取出冷卻至室溫，提取液過 0.22 μm 一次性針頭過濾器后進樣分析。
色譜測量數據
PC 中陰離子譜圖
色譜測量數據
PP 中陰離子譜圖
色譜測量數據
ABS 中陰離子譜圖
Related Products
查看詳情 
查看詳情
查看詳情
查看詳情
related news
2019青島盛瀚將全新推出PEEK系列色譜柱。此次推出的新產品極大地豐富了青島盛瀚自有品牌色譜柱產品線，為廣大用戶提供更多色譜柱產品選擇，滿足更多強酸堿基質樣品的檢測需求。
蛋白質組學，作為生命科學領域的一門新興學科，致力于研究蛋白質的組成、結構、功能以及蛋白質之間的相互作用。隨著技術的進步，超高效液相色譜（UPLC）技術在蛋白質組學研究中發揮了越來越重要的作用。
在二十年的奮斗歷程中，支撐盛瀚不斷加速發展的，不僅是對色譜儀器自主研發的重視，更有背后五星級售后團隊的助力，正是他們的敬業精神，保證了每一次合作的完美閉環，真正做到產品專業服務一流。
正值新中國成立72周年，抗美援朝愛國影片《長津湖》全國熱映，為進一步培養黨員樹立感黨恩、頌黨情、強黨性、樹黨風的風氣，盛瀚黨支部決定開展員工關愛主題實踐活動。
對于青源峰達，每年的11月是不同的，卻又是相同的。不同在于，這個月份的第一個周六，是集團的公益日，每年都有不同主題的公益活動。相同在于，我們已經堅持了4年，未來還有很多年，公益已經成為每位員工習慣的事情……
全國免費服務熱線:
總部地址:
銷售郵箱:
